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GAS00-350SC    

 

 

精密XXY對位平台-超高剛性型電磁式GAS00-350SC

 

 

 

藉由固定式電磁裝置，於對位平台精密定位後採用直接式將活動平台進行吸附，以達到活動平台之穩固定位狀態，且於電磁定位狀態中使得活動平台、電磁結構、基座緊密貼合，如同一體型結構件，大幅提升精密XXY對位平台於精密定位後所能承受之正向壓力，進而確保精密XXY對位平台於製程中所產生正向壓力所造成損壞，然而因零組件均採用我司量化且通用性高之零組件，以達到低成本、高品質之要求，提供精密產品於製程中其剛性穩固精密定位有更高更嚴苛的精度要求，並提供現階段市場需求穩固精密定位之完整解決方案。

 

 

 

 

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