精密XXY對位平台-超高剛性型氣壓式GAS00-350AC    

 

 

 

 

隨著眾多精密產品於製程中有更高更嚴苛的精度要求,且製程技術已進入奈米等級,其剛性穩固精密定位技術成為必備條件,以滿足高精密製程設備之需求,於精密加工製程設備中,對位平台為產業界精密定位採用的設備,XXY對位平台為典型結構,活動平台主要皆是仰賴螺桿導動與滑動裝置的連結關係來達成,在一活動平台與一基座之間橫設有數組X軸向與Y軸向的螺桿導動裝置,運作時係能夠透過控制該X軸向與Y軸向等螺桿導動裝置的其中單組作動或整體同動等方式,達到驅使活動平台位移或轉動以調校加工精準度之目的。

此產品藉由本體結構產生流體增壓迫緊定位方式定位,以消除結構件組合之間係,有效支撐對抗活動平台之側向推力,然而零組件大多數均採用我司量化且通用性高之零組件,以達到低成本、高品質之要求,提供精密產品於製程中其剛性穩固精密定位有更高更嚴苛的精度要求,並提供現階段市場需求穩固精密定位之完整解決方案。

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